天加水冷螺桿機組護航華中半導體巨頭封裝產線
在半導體芯片制造領域,0.1℃的溫差波動影響著百萬級產品的生產線良率。面對華中半導體龍頭安芯美科技的高精度溫控需求,天加用硬核技術交出了一份標桿級答卷。
項目背景
芯片制造的“溫度生命線”
制冷空調系統,作為芯片生產車間的重要環境構成,除了通過精確控制車間內的溫度,確保工藝在最佳溫度范圍內進行,從而提高芯片的成品率外,還負責管理車間的濕度、潔凈度和氣流分布等環境因素。通過精確的環境管理,減少塵埃和污染物對芯片制造過程的影響,從而確保高質量芯片生產工作。
圖|安芯美科技公司
安芯美科技(湖北)——華中半導體/微電子制造核心企業,深耕芯片封裝測試、Mini/Micro LED顯示技術領域,其湖北咸寧生產基地承載著年產值25億元、600億顆芯片的封裝重任,其制冷機房建設是嚴苛的環境制程中的重要一環,也面臨諸多挑戰:
精度極限:26000㎡廠區需±0.3℃水溫精度· 持續作戰:24/7不間斷運行的工藝冷卻系統· 環境對抗:夏季高溫高濕氣候下的穩定性保障·?綠色剛需:省級重點項目強制節能減碳要求“這不僅是制冷,更是保障芯片良率的生命線。”項目負責人如是說。
天加方案
為芯片制造定制“溫度保險箱”
天加技術團隊在充分了解客戶需求,并進行多次場景模擬分析研判后,最終采用3臺TICA TWSF0250.1GC1水冷螺桿機組組成多機聯控系統,并將工藝冷卻水與空調冷凍水系統分開,避免交叉污染,創新性地采用三大技術策略,為客戶帶來“量體裁衣”的解決方案:
冗余備份設計:均衡運行,自動切換保障,互為備用
正偏離制冷量:出水溫度持續穩定 水溫偏離≤±0.3℃
智能化控制算法:最低實現12℃低冷卻水工況下安全啟動,主動尋優運行,完美適配客戶業態工藝場景變化。并基于天加天加OptSeek智慧物聯數據平臺,實現智慧運維和能效實時診斷,數據三方公信共管,為客戶實現全生命周期系統解決方案。
圖|項目現場天加水冷螺桿機組
項目落地后,機組始終高效穩定運行,全年水溫波動≤0.28℃,優于設計標準;目前已無故障運行突破3569小時,基于增效運行控制邏輯,可全年運行費用降低5%,年減碳34.3噸。
圖|天加數據物聯平臺
該項目作為天加在半導體行業的系統樣板工程,驗證了天加專業空氣制程在精密制造領域的可復制價值,也為破解高溫高濕地區精密溫控難題,提供了制冷機房的智能運維范式。